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洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,杭州净化厂房,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,最近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的高端处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

 同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。



空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,杭州净化厂房,000级。

   优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,杭州净化厂房公司,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

   缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。



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